?!DOCTYPE html>
0.1um高精度气静压主upȝ的应?/span>
?nbsp;应用范围
1、半g行业Q半g材料的划片切割机、硅片^面研机{?/span>
2、手业:(x)手机表面高光、倒角Q精l加工?/span>
3、光学行业:(x)ȝ镜片研磨、高_ֺ雕刻Q高_ֺ光学具表面高光加工?/span>
4、机械加工行业:(x)q面精研磨、内外园精研磨、u承沟道磨床、螺U超_,高精度R床、高_ֺ雕刻机、刀L(fng)刃机{?/span>
?nbsp;技术特?/span>
高精度加工机床的主u在加工过E中直接支持工g或刀L(fng)q动Q故主u的回转精度直接媄响到工g的加工精度。因此可以说主u是高_ֺ加工机床中核心的一个部Ӟ通过机床主u的精度和Ҏ(gu)可以评h床本w的_ֺ。目前研制开发的高精度加工机床的主u中是静压I气轴承主u。空气u承主轴具有良好的振摆回{_ֺ。主轴振摆回转精度是除去轴的圆度误差和加工粗p度影响之外的u心线振摆Q即非重复径向振摆,属于静态精度。目前高_ֺI气轴承主u回{_ֺ可达0.05µmQ可?/span>0.03µmQ由于u承中支承回{轴的压力膜的均化作用Q空气u承主轴能够得到高于u扉K件本w的_ֺ。例如主轴的回{_ֺ大约可以辑ֈ轴和轴套{u扉K件圆度的1/15?/span>1/20。日本学者研I表明,当u和u套的圆度辑ֈ0.15?/span>0.2µm的精度时Q可以得?/span>10nm的回转精度,q过FFT定其所刉的_ֺI气轴承主u的回转精度ؓ(f)8nm。另外,I气轴承主uq具有动Ҏ(gu)良好、精度寿命长、不产生振动、刚?/span>/载荷量具有与使用条g相称的值等优点?/span>
?nbsp;气静压电(sh)主u主要技术性能
1、工件主轴、砂轮电(sh)主u采用气静压空气u承,技术先q、结构合理,h自主知识产权?
2、主轴冷却效果好、upȝ变化?/span>
3、主轴精度高Q旋转精度≤0.1umQ、振动小Q振动值≤0.1mm/sQ?nbsp;?nbsp;
4、恒功率Q高扭矩、高刚?/span>
5、{速采用变频控Ӟ可实现矢量控Ӟ转速控制精度可达?.1%?/span>
6、{轴与砂轮接杆q接有多UŞ式,有直孔、ER、内锥、外锥等形式?nbsp;
7、适合Q内外圆床、内圆磨床、外圆磨床、u承沟道磨床、^面磨床、螺U磨床、雕L、划片切割机、刀L(fng)刃机、高_ֺ车床{设备的主upȝ升攚w?/span>
8、配全自动空气u承专用三U高_ֺqo器,以及q口中频矢量变频器?/span>
9、各U智能保护报警功能完善,包括Q防转u抱死保护及报警,压羃I气Ơ压、失压保护及报警Q过(q蝲Q保护及报警Q主轴无冷却水保护及报警{?/span>
?nbsp;0.1um高精度气静压万能床主upȝ_ֺ升技术方?/span>
本方案采?/span>0.1um高精度气静压Q空气u承)主upȝ对传l内外圆床?/span>2-3um主upȝq行升攚w,从而可以大大提高整机的_ֺQ具体方案如下:(x)
一?nbsp; pȝl成
1?nbsp; 主要配置?/span>
序号 |
??/span> |
规格型号 |
额定转?/span>rpm |
额定功率kw |
工作气压mpa |
旋{_ֺum |
厂家 |
数量 |
1 |
气静压工件电(sh)主u |
CS-140QD04 |
4000 |
0.75 |
?/span>0.5 |
?/span>0.1 |
传顺 |
1?/span> |
2 |
气静压内圆砂轮电(sh)主u |
CS-85QD80 |
80000 |
1.5 |
?/span>0.5 |
?/span>0.1 |
传顺 |
1?/span> |
3 |
气静压内圆砂轮电(sh)主u |
CS-100QD30 |
30000 |
2.2 |
?/span>0.5 |
?/span>0.1 |
传顺 |
1?/span> |
4 |
气静压外圆砂轮电(sh)主u |
CS-140QD10 |
10000 |
2.2 |
?/span>0.5 |
?/span>0.1 |
传顺 |
1?/span> |
5 |
气静压顶?/span> |
CS-80QJ |
|
|
?/span>0.5 |
?/span>0.1 |
传顺 |
1?/span> |
6 |
工g轴变频控制器 |
VFD022B43A |
|
|
|
|
台达 |
1?/span> |
7 |
内圆砂轮轴变频控制器 |
VFD022B43A |
|
|
|
|
台达 |
1?/span> |
8 |
外圆砂轮轴变频控制器 |
VFD037B43A |
|
|
|
|
台达 |
1?/span> |
9 |
保护压力开?/span> |
|
|
|
|
|
|
2?/span> |
10 |
三高精度空气过滤器 |
CS-QGL-3 |
|
|
|
|
传顺 |
1?/span> |
|
合计 |
|
|
|
|
|
|
11 |
2、本pȝ由气静压工g?sh)主轴、气静压内圆砂轮?sh)主轴、气静压外圆砂轮?sh)主轴、气静压尖l成高精度气静压内外圆磨床的加工轴系?/span>
3、电(sh)主u转速控刉用台达pd变频控制器,压羃I气以及主u水冷却采用原讑֤现有供给pȝ?/span>
4、主轴安装方式可参考原有磨床主轴安装尺寸,采用HAFU夹紧方式?/span>
5、气静压内圆砂轮?sh)主轴采用瑞士?/span>ER16弹簧夹头Q或直杆Q;气静压外圆砂轮电(sh)主u采用Φ32直杆形式安装外圆砂轮Q气静压工g?sh)主轴采用多l工件夹P可安装卡盘、顶等夹具Q具体尺寔R用户认Q?/span>
6、本pȝ在气路、水路进口处加有压力传感器,hq流、过载、气压低于下限、以及冷却水断流{故障报警保护功能。ƈ且具有和上位机通讯功能Q?/span>RS-485Q?/span>
?老设备升U改造应用实?/span>
1?nbsp;柛_螺纹床砂轮主u升攚w,用于滚珠丝杠螺母内螺Uw_ֺ研磨加工?/span>
2?nbsp;国摩尔坐标床头主u升攚w,用于具坐标孔高_ֺ研磨加工?/span>
3?nbsp;光学镜片研磨Z轴升U改造,用于光学镜片q面的高_ֺ研磨加工?/span>
4?nbsp;光学具表面高光Z轴升U改造,用于光学具表面高精度高光加工?/span>
5?nbsp;雕刻机高速主轴升U改造,用于手机表面高光、高_ֺ雕刻加工?/span>
6?nbsp;数控车床工g主u升攚w,用于半导体切割刀片基体高_ֺ加工?/span>
7?nbsp;轴承沟道精床升攚w,用于P2?/span>P4Uu承沟道高_ֺ研磨加工?/span>
8?nbsp;M131?/span>M1432?/span>M1420?/span>M1412{内外圆床工g主uQ内圆、外圆砂轮主轴升U改造,用于高精度零件内外圆高精度研加工?/span>
9、小直径、小丝锥牙床的升U改造,用于直径Φ0.5-1mm丝锥丝牙的研加工?/span>